温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于基板处理装置的集成气体系统，更详细来说涉及一种可通过集成气体系统对所供给的气体的温度准确地进行控制的用于基板处理装置的集成气体系统。用于基板处理装置的集成气体系统。用于基板处理装置的集成气体系统。
...
该专利属于TES股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过TES股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。