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一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供基底,包括衬底、以及覆盖衬底的隔绝层沟道结构,基底包括器件区、以及位于相邻器件区之间的隔离区,器件区的隔绝层上形成有凸立的沟道结构;在器件区的沟道结构上形成覆盖部分沟道结构的栅极结构;在栅极结构...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供基底,包括衬底、以及覆盖衬底的隔绝层沟道结构,基底包括器件区、以及位于相邻器件区之间的隔离区,器件区的隔绝层上形成有凸立的沟道结构;在器件区的沟道结构上形成覆盖部分沟道结构的栅极结构;在栅极结构...