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本发明公开了一种PECVD设备的辉光放电装置，包括气体导入机构、上电极板和下电极板，上电极板和下电极板间隔设置在PECVD设备的反应室内，反应室包括腔体，上电极板盖合在腔体顶部，下电极板设于腔体内部的底板上；上电极板包括电极背板和喷淋板，电...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

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