下载基于银合金的溅射靶的技术资料

文档序号:37976431

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本发明涉及一种基于银合金的溅射靶,所述银合金包含:基于所述银合金的总重量,0.01至2重量%的选自铟、锡、锑和铋中的第一元素,和基于所述银合金总重量的0.01至2重量%的钛,并且具有不大于55μm的平均晶粒尺寸。且具有不大于55μm的平均晶...
该专利属于万腾荣先进材料德国有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过万腾荣先进材料德国有限责任公司授权不得商用。

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