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本发明涉及一种光学非接触式高陡度轮廓测量装置，属于精密测量领域。装置主要由精密运动执行模块，轮廓表面探测模块，精密位移测量模块构成。本发明使用具有一定安装倾角的光谱色散共焦位移测头实现高陡度轮廓的探测，利用二维正交直线运动台搭载测头按指定轨...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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