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本发明属于晶圆干燥技术领域，且公开了包括底座，底座上表面中部的左侧开设有轴槽，底座上表面中部的右侧开设有导向槽，底座前面的左侧固定安装有第一驱动件，第一驱动件输出轴的顶端固定安装有第一主动轮，轴槽的中部活动套接有转座，转座侧面的中部固定安装...
该专利属于苏州冠礼科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州冠礼科技有限公司授权不得商用。

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