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一种晶棒剥离装置及剥离方法制造方法及图纸
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下载一种晶棒剥离装置及剥离方法的技术资料
文档序号:37974983
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本发明公开了一种晶棒剥离装置及剥离方法,包括机架,还包括设置旋转座以及设置在机架上用于驱动旋转座转动的旋转驱动机构、位于旋转座上方的升降座以及设置在机架上用于驱动升降座升降的升降驱动机构、与升降座可拆卸连接的上盖板以及与旋转座可拆卸连接的下...
该专利属于河南通用智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南通用智能装备有限公司授权不得商用。
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