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本申请适用于微电子器件的检测试验技术领域，提供了水汽标准气体的制备装置及制备方法，该水汽标准气体的制备装置包括：第一腔体、第二腔体、进气阀、第一排气阀、第二排气阀和机械活塞；第一腔体的左侧通过进气口与进气阀连接，第一腔体的右侧通过第一排气口...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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