水汽标准气体的制备装置及制备方法制造方法及图纸

本申请适用于微电子器件的检测试验技术领域，提供了水汽标准气体的制备装置及制备方法，该水汽标准气体的制备装置包括：第一腔体、第二腔体、进气阀、第一排气阀、第二排气阀和机械活塞；第一腔体的左侧通过进气口与进气阀连接，第一腔体的右侧通过第一排气口与第一排气阀连接，第一腔体的上表面设有第一连通孔；第一腔体用于通入氢气混合气体；第二腔体的右侧通过第二排气口与第二排气阀连接，第二腔体的下表面通过第一连通孔与第一腔体连通；第二腔体用于通入氧气混合气体；第二腔体中放有催化剂；机械活塞位于第二腔体内，用于通过上下移动来改变第二腔体与第一腔体之间的气密状态。本申请能够制备水汽标准气体，且精度高，成本低、重现性好。重现性好。重现性好。

【技术实现步骤摘要】
水汽标准气体的制备装置及制备方法


[0001]本申请属于微电子器件的检测试验
，尤其涉及水汽标准气体的制备装置及制备方法。

技术介绍

[0002]水汽含量是密封电子元器件内部气氛测试的关键指标，相关标准中对密封电子元器件内部气氛测试仅规定了水汽含量，目前水汽含量广泛采用基于四极质谱仪的内部气氛分析仪进行测试。
[0003]然而，因为露点温度高、容易吸附凝结，水汽标准气体稳定周期短，不易储存。制备标准气氛含量的校准样时，如氮气、氢气、氧气、氦气等都可以获得溯源完整的有证标准物质，水汽的标准物质则较难获取，这给水汽含量测试时的校准工作带来阻碍。长期以来，作为关键指标的水汽含量，其测量精度明显低于氢气、氧气、氦气等其他气体。

技术实现思路

[0004]为克服水汽标准气体较难获取的问题，本申请实施例提供了水汽标准气体的制备装置及制备方法。
[0005]本申请是通过如下技术方案实现的：
[0006]第一方面，本申请实施例提供了一种水汽标准气体的制备装置，包括：第一腔体、第二腔体、进气阀、第一排气阀、第二排气阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水汽标准气体的制备装置，其特征在于，包括：第一腔体、第二腔体、进气阀、第一排气阀、第二排气阀和机械活塞；所述第一腔体的左侧通过进气口与所述进气阀连接，所述第一腔体的右侧通过第一排气口与所述第一排气阀连接，所述第一腔体的上表面设有第一连通孔；所述第一腔体用于通入氢气混合气体；所述第二腔体的右侧通过第二排气口与所述第二排气阀连接，所述第二腔体的下表面通过所述第一连通孔与所述第一腔体连通；所述第二腔体用于通入氧气混合气体；所述第二腔体中放有催化剂；所述机械活塞位于所述第二腔体内，用于通过上下移动来改变所述第二腔体与所述第一腔体之间的气密状态。2.如权利要求1所述的水汽标准气体的制备装置，其特征在于，所述制备装置还包括：密封盖板和镀镍金属薄片；所述密封盖板位于所述第一腔体的底部，并且所述密封盖板的边沿与所述第一腔体底部外壁紧密贴合；所述第一腔体的下表面设有第二连通孔；所述密封盖板在所述第二连通孔的对应位置设有第三连通孔；所述镀镍金属薄片，位于所述第一腔体的底部与所述密封盖板之间，用于封闭所述第二连通孔。3.如权利要求1所述的水汽标准气体的制备装置，其特征在于，所述制备装置还包括：进气管路、第一排气管路和第二排气管路；所述进气管路连接外部气罐与所述进气阀；所述第一排气管路连接所述第一排气阀与外部大气环境；所述第二排气管路连接所述第二排气阀与所述外部大气环境。4.如权利要求1所述的水汽标准气体的制备装置，其特征在于，所述氧气混合气体为氧气与氮气的混合气体；所述氢气混合气体为氢气与氮气的混合气体。5.如权利要求1至4任一项所述的水汽标准气体的制备装置，其特征在于，所述催化剂为铂催化剂。6.一种水汽标准气体的制备方法，其特征在于，应用于如权利要求1至5任一项所述的水汽标准气体的制备装置；所述制备方法包括：向上移动机械活塞，使第一连通孔打开，并将所述制备装置放置于加热台上；向所述制备装置中通...

【专利技术属性】
技术研发人员：桂明洋，安伟，迟雷，焦龙飞，沈彤茜，陈龙坡，彭浩，周晓黎，刘涛，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：