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本发明涉及半导体制造领域，公开了一种零件清洗设备，包括承托底座、架设于承托底座上的承托顶板和设于承托底座上的碾磨结构和除尘结构，除尘结构包括安装于承托底座上的除尘气缸、转动安装于除尘气缸输出轴的除尘管柱、固定于承托顶板底部的空心盘、若干根安...
该专利属于苏州高芯众科半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州高芯众科半导体有限公司授权不得商用。

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