下载半导体结构及其形成方法的技术资料

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一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供基底,包括相邻接的第一器件区和第二器件区,第一器件区和第二器件区的基底上分别形成有沟道层结构,包括一个或多个间隔的沟道层,在第一器件区和第二器件区交界处,相邻沟道层结构之间形成有覆盖沟道层结构相...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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