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陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:37973899
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一种陶瓷接合体,其包括:一对陶瓷板;及电极层,介于一对陶瓷板之间,电极层埋设于一对陶瓷板中的至少一者,在电极层的外缘,一对陶瓷板中的至少一者与电极层的接合面相对于一对陶瓷板及电极层的厚度方向具有斜率。对陶瓷板及电极层的厚度方向具有斜率。对陶...
该专利属于住友大阪水泥股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过住友大阪水泥股份有限公司授权不得商用。
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