下载一种提升发光效率的发光二极管制作方法的技术资料

文档序号:37973716

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本发明公开一种提升LED芯片亮度的制作方法,包含以下步骤:(1)在氢气环境下对衬底进行脱附处理;(2)在衬底上外延生长AlN成核层;(3)对AlN成核层进行重结晶;(4)外延生长AlN缓冲层;(5)外延生长AlN/GaNDBR结构;(6)将...
该专利属于湘能华磊光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘能华磊光电股份有限公司授权不得商用。

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