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本发明提供一种沉积机台以及其操作方法，其中该沉积机台包含一腔体，以及一第一管路与一第二管路，其中该第一管路的一末端与该第二管路的一末端连接至该腔体中，其中该第二管路的一部分穿过该第一管路的一侧壁，并且延伸进入该第一管路的内部。本发明的沉积机...
该专利属于联芯集成电路制造(厦门)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过联芯集成电路制造(厦门)有限公司授权不得商用。

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