温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种绝缘膜抛光液，包括：氧化铈，阴离子型高分子，阳离子型高分子，绝缘膜抑制剂和水；所述绝缘膜抛光液的抛光速率的图形抛光速率为无图形抛光速率5倍以上。本发明中的绝缘膜抛光液具有较好的稳定性，并且能够实现自动停止功能。实现自动停止功...
该专利属于安集微电子科技（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安集微电子科技（上海）股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。