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本发明涉及一种基于图注意力机制确定异常的方法，包括：获取多变量时序数据，所述时序数据为半导体制造过程中设备的多个传感器产生的数据；根据图结构学习模型获取所述多个传感器对应的最终嵌入向量，所述最终嵌入向量用于表征所述多个传感器之间的关联关系；...
该专利属于深圳智现未来工业软件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳智现未来工业软件有限公司授权不得商用。

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