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一种大直径硅晶体生长装置制造方法及图纸
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文档序号:3796509
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本发明公开了一种大直径硅晶体生长装置,包括保温系统、加热系统、导流系统及支撑装置,所述的保温系统上部设有保温盖板及炉底保温结构,所述的保温盖板采用双层结构,即互相叠合的上保温盖板(1)和下保温盖(2),在所述的上保温盖板(1)和下保温盖(2...
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