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本发明提供一种超透镜的双面单层和双面多层微纳结构的制备方法及制备的超透镜，属于微纳光学技术领域。本发明的超透镜的双面单层和双面多层微纳结构的制备方法，通过双面对准光刻配合刻蚀制备凸起的金属铬对准标记，相对于胶结构的对准标记具有更好的边缘锐度...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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