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本发明提供一种高速检测气体分子的气体传感器及气体检测装置与方法，涉及气体检测技术领域。所述气体传感器包括硅基板、传感基主体及金电极；所述硅基板的一面为纯硅面，另一面为氧化硅面；所述硅基板的氧化硅面上刻蚀有若干个检测通道；所述传感基主体覆在所...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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