一种高速检测气体分子的气体传感器及气体检测装置与方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种高速检测气体分子的气体传感器及气体检测装置与方法，涉及气体检测技术领域。所述气体传感器包括硅基板、传感基主体及金电极；所述硅基板的一面为纯硅面，另一面为氧化硅面；所述硅基板的氧化硅面上刻蚀有若干个检测通道；所述传感基主体覆在所述氧化硅面上；所述传感基主体的表面由若干个对应检测通道位置的区域I和未对应检测通道的区域II组成；在所述区域II上电镀所述金电极。本发明专利技术便携式气体检测仪器，通过石墨烯及类似材料的传感器进行检测，之后通过检测设备将传感信号传输到显示屏上，定性定量地对两个或以上混合气体的具体成分进行分析。整个检测腔尺寸不足200cm3，可以实现野外气体检测的便携式应用。可以实现野外气体检测的便携式应用。

【技术实现步骤摘要】
一种高速检测气体分子的气体传感器及气体检测装置与方法


[0001]本专利技术涉及气体检测
，尤其涉及一种外差法提高石墨烯气体 响应速度与灵敏度的传感器与检测装置与方法。

技术介绍

[0002]目前基于纳米线、碳纳米管、石墨烯和过渡金属二硫醇等纳米材料的 电子器件，有着比表面积大、迁移速率高、低功耗以及高兼容性等优点。 因此各国科学家正在探索如何将这些优势应用于气相传感。目前，常见的 石墨烯气体检测器多是通过改变其表面电荷密度，进而改变了费米能量和 传感器的电导率，通过监测电导变化来表征分子与传感器的相互作用。但 其响应和恢复时间通常需要几十到几百秒，且设备体积较大，不利于便携 式实时监测。例如：中国专利申请公布号CN207730722U，申请公布日2018 年8月14日，专利技术创造名称为一种手持式气体检测仪器，包括进口滤器 座、报警灯、显示屏、主机、大螺丝、控制按钮、蜂鸣器口、检测器、螺 丝、co滤器座、hc滤器座、排气口、进气口，可以更好的进行散热，使 仪器内部温度降低，保护仪器，其不足之处在于装置响应和恢复时间较慢， 不利于实时的测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体传感器，其特征在于，所述气体传感器包括硅基板、传感基主体及金电极；所述硅基板的一面为纯硅面，另一面为氧化硅面；所述硅基板的氧化硅面上刻蚀有若干个检测通道；所述传感基主体覆在所述氧化硅面上；所述传感基主体的表面由对应检测通道位置的区域I和未对应检测通道的区域II构成；在所述区域II上电镀所述金电极。2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述检测通道的宽度为3nm～300μm，深度为1nm～10μm。3.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述硅基板的尺寸为宽2～4cm，长3～5cm。4.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述传感基主体为1～6层的石墨烯材料和/或类石墨烯材料。5.根据权利要求4所述的气体传感器，其特征在于，所述类石墨烯材料选自磷烯、氮化硼、二硫化钼、锗烯中的一种。6.一种气体检测装置，其特征在于，包括分离部件、供电部件与传感部件；所述分...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯亮，常俊玉，孟虎，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：