温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种能够对各种各样的试样高效地进行加工的试样加工装置。本发明的试样加工装置包含：阳极(110)；阴极(120)；引出电极(130)，其引出离子，所述离子是从阴极(120)释放出的电子与气体碰撞而生成的；以及聚焦电极(140)，其配置在阴...
该专利属于日本电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。