下载基于双加热多坩埚下降法的氟化物晶体生长装置及方法的技术资料

文档序号:37962332

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本申请涉及一种基于双加热多坩埚下降法的氟化物晶体生长装置及方法,所述生长装置包括真空炉体,设于真空炉体内的环状多孔坩埚、中心单孔坩埚,附带电极的双加热体以及用于控制所述环状多孔坩埚和所述中心单孔坩埚同步升降的升降机构;所述双加热体包括外围加...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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