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工件输送装置具备：多个保持头，具有工件的保持部及使其产生保持力的真空泵；以及输送轨道(4)，输送多个保持头。真空泵(22)具有：泵部(34)，被连通于保持部，吸引或喷出气体；以及轴部(36)，通过旋转使泵部(34)运转。轴部(36)具有N极...
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