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一种定向排布纳米孪晶铜薄膜材料及其制备方法和应用技术
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文档序号:37962285
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本发明属于电子封装技术领域,具体公开了一种定向排布纳米孪晶铜薄膜材料及其制备方法和应用。所述制备方法采用电沉积工艺,包括镀液配置、基底前处理、直流电镀、镀层后处理步骤,所述镀液包括硫酸铜30~150g/L、强酸10~20mL/L、氯化钠30...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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