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本发明公开了一种硅基日盲型光敏探测器件，属于光敏感器件技术领域，包括衬底和两个电极压脚，其中衬底包括下层硅层、中层二氧化硅层和上层硅层；下层硅层镂空形成一深槽孔；上层硅层为薄膜型感光面；薄膜型感光面从下而上依次包括N型层和P型层；电极压脚包...
该专利属于南通智能感知研究院所有，仅供学习研究参考，未经过南通智能感知研究院授权不得商用。

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