下载空气声成像传感器的技术资料

文档序号:37960028

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本发明公开了一种空气声成像传感器,包括:偏转装置,包括安装座、第一形变件以及固定座,所述第一形变件的两端分别与所述安装座以及固定座相连接;空气声成像传感装置,安装于所述固定座上;驱动装置,安装于偏转装置上,所述驱动装置用于驱使所述第一形变件...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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