下载一种计入粗糙度影响的图形化薄膜等效杨氏模量表征方法的技术资料

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本发明涉及一种计入粗糙度影响的图形化薄膜等效杨氏模量表征方法,包括:建立表面波在图形化薄膜/衬底分层结构中传播模型,并计算得到理论频散曲线;生成与均方根高度和自相关长度参数相关的高斯粗糙表面和给定峰度和偏斜度的非高斯粗糙表面;分别建立光滑、...
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