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多晶硅铸锭设备的漏硅检测结构制造技术
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文档序号:3795422
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本发明涉及多晶硅的生产设备,具体是一种多晶硅铸锭设备的漏硅检测结构。该多晶硅铸锭设备的漏硅检测结构包括有坩埚、位于坩埚外侧的护板、位于坩埚下方并与护板下端连接的石墨底板、位于石墨底板下方的塞条组合、位于塞条组合下方的底板组合、位于底板组合下...
该专利属于镇江环太硅科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镇江环太硅科技有限公司授权不得商用。
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