下载硅单晶棒切片前处理方法及前处理夹具的技术资料

文档序号:3795421

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本发明涉及硅单晶晶片的制造,具体是一种硅单晶棒切片前处理方法及前处理夹具。该硅单晶棒切片前处理方法是:a.将圆柱形的硅单晶棒料通过常规的切方工艺形成角部为圆弧的正方形截面;b.对棒料外表四个侧平面与角部四个圆弧面交界处形成的棱角采用磨削工具...
该专利属于镇江环太硅科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镇江环太硅科技有限公司授权不得商用。

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