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本发明为一种精密激光对脆性基材的划片方法，本发明还涉及到使用该方法的专用设备。其特征在于：一对激光头中的一个激光光源通过可偏转的折射偏转镜调节后，其平行光线通过聚焦镜头聚焦后射于工作台，达到其激光光束的焦点在工作台平面上纵横轴的位置可调节，...
该专利属于江苏伊施德创新科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏伊施德创新科技有限公司授权不得商用。

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