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本实用新型公开了一种半导体晶片氧化炉用保护气体布气装置，其包括：布气管、进气管接头和布气罩，所述进气管接头设置在水平放置的布气管上，所述布气罩设置在布气管的下方，并沿布气管的长度方向延伸，所述布气罩的两端分别设置有与布气管外圆相连接的第一封...
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