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本实用新型公开了一种碳化硅晶锭切片及双面打磨装置,包括固定座,所述固定座的上方设置有支撑架,胡支撑架的中间设置有旋转定位架,所述旋转定位架的内侧设置有四个对称分布的装夹片,四个所述装夹片与旋转定位架的内壁中间均设置有装夹伸缩杆,所述旋转定位...该专利属于扬帆半导体(江苏)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬帆半导体(江苏)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种碳化硅晶锭切片及双面打磨装置,包括固定座,所述固定座的上方设置有支撑架,胡支撑架的中间设置有旋转定位架,所述旋转定位架的内侧设置有四个对称分布的装夹片,四个所述装夹片与旋转定位架的内壁中间均设置有装夹伸缩杆,所述旋转定位...