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本发明公开了一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置,氮气供气装置输出的氮气经过第一过滤器分成两条支路,第一条支路依次经过第一减压阀、第一气动阀和第一流量计,最终到达异丙醇喷头,另一条支路分别依次经过第二减压阀、第二流量计和第二气动阀,最终到达异丙醇槽,...该专利属于昆山西钛微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山西钛微电子科技有限公司授权不得商用。
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