异丙醇蒸汽清洗干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，氮气供气装置输出的氮气经过第一过滤器分成两条支路，第一条支路依次经过第一减压阀、第一气动阀和第一流量计，最终到达异丙醇喷头，另一条支路分别依次经过第二减压阀、第二流量计和第二气动阀，最终到达异丙醇槽，并将异丙醇槽内的异丙醇液体通过第三气动阀、第二过滤器、第三流量计和第四气动阀，压入异丙醇喷头，异丙醇槽连接有一安全阀；异丙醇喷头和加热灯固设于工作腔内，料盒固设于固定支架上，固定支架可移动定位于工作腔内，工作腔内还固设有异丙醇浓度检测报警仪、排气装置和导流管，此装置结构简单，操作方便，清洁效率高，玻璃晶圆表面清洗的均匀又彻底，干燥后表面无干燥纹。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，其特征为：包括氮气供气装置（１）、第一过滤器（２）、第一减压阀（３）、第一气动阀（４）、第一流量计（５）、异丙醇喷头（６）、第二减压阀（７）、第二气动阀（８）、第二流量计（９）、异丙醇槽（１０）、第三气动阀（１１）、第二过滤器（１２）、第三流量计（１３）、第四气动阀（１４）、安全阀（１５）、工作腔（１６）、料盒（１７）、固定支架（１８）、加热灯（１９）、异丙醇浓度检测报警仪（２０）、排气装置（２１）和导流管（２２），以使用方向为基准，氮气供气装置（１）的出气端与第一过滤器（２）进气端连接，第一过滤器（２）出气端分成两条支路，第一条支路依次串联了第一减压阀（３）、第一...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴高军，
申请(专利权)人：昆山西钛微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]