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本申请提供一种电极距离校准装置，涉及半导体制造设备检测技术领域。电极距离校准装置包括底板、定位孔及与定位孔对应的定位销。底板具有相对的第一表面和第二表面，定位孔贯穿第一表面和第二表面。定位销包括固定部和与固定部连接的测量部，固定部置于定位孔...
该专利属于吉林华微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林华微电子股份有限公司授权不得商用。

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