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本实用新型提供一种气浮旋转装置及碳化硅外延生长设备。所述气浮旋转装置包括气浮托盘、石墨底座、螺杆和旋转测速装置，所述螺杆一端与所述气浮托盘可拆卸连接，另一端贯穿所述石墨底座后与所述旋转测速装置固定连接，所述石墨底座上设置进气口、至少两个分气...
该专利属于广州志橙半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州志橙半导体有限公司授权不得商用。

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