下载半导体元件及其制作方法的技术资料

文档序号:37911864

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本发明公开一种半导体元件及其制作方法,其中该制作半导体元件的方法为先提供一包含MRAM区域与逻辑区域的基底,然后形成第一金属间介电层于基底上,形成第一金属内连线与第二金属内连线于MRAM区域的第一金属间介电层内,形成一自旋轨道转矩式(spi...
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