温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型的实施例提供了一种等离子炬阴极组件及等离子炬，涉及等离子炬领域。该等离子炬阴极组件包括等离子炬阴极和旋流进气环，旋流进气环套设在等离子炬阴极外侧，旋流进气环设有旋流通孔，旋流通孔用于使进入旋流进气环内的惰性气体形成旋流气体，并将旋...
该专利属于上海盛剑半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海盛剑半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。