温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种晶圆吸附辅助构件及晶圆吸附装置，晶圆吸附辅助构件包括盘体以及能够驱动盘体移动的驱动机构，盘体的内部设有互相连通的气路通道，盘体的其中一面上开设进气孔，进气孔外接气源，盘体的另一相对面上沿盘体边缘的周向开设出气孔，进气孔与出...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。