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本实用新型提供了一种半导体设备的盖体的散热系统及半导体设备。在该散热系统中，将盖体设置为中空结构，并利用抽气装置连接中空结构的吸气口用于抽取中空结构内的热气，实现对盖体的快速散热；并且，该散热系统还利用控制模块、温度传感器和抽气装置形成温度...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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