下载固-液-固相法制备硅纳米线的技术资料

文档序号:3790072

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本发明属于半导体材料技术领域,具体涉及一种硅纳米线的固-液-固相制备方法。是首先在Si衬底沉积一层金属催化剂;其次,在一定温度下,不引人含Si源气体,直接使衬底中的Si和金属形成共晶液滴;接着,衬底中的Si将通过“固-液”界面而溶解到合金液...
该专利属于熊长宏所有,仅供学习研究参考,未经过熊长宏授权不得商用。

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