下载制冷装置及半导体测试系统的技术资料

文档序号:37898342

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本实用新型提供了一种制冷装置及半导体测试系统,包括:制冷模块和汇流排组件,制冷模块和汇流排组件经管路连通形成闭合的制冷回路;汇流排组件包括多个汇流排和多个散热模块,汇流排与散热模块对应设置,每个汇流排均包括汇流排冷腔和汇流排热腔,汇流排冷腔...
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