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本实用新型涉及半导体制备领域，尤其涉及一种LED晶圆承载盘存储装置，其包括基座和承载盘，所述基座内沿其高度方向设有多个载盘槽，所述载盘槽放置有承载盘；相邻的载盘槽之间设有用于分隔两个载盘槽的隔板，所述基座内对应隔板的两侧设有板槽，所述隔板的...
该专利属于福建兆元光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建兆元光电有限公司授权不得商用。

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