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本实用新型涉及薄膜制备设备技术领域，涉及一种密封机构及镀膜设备。密封机构包括腔体结构和腔门结构，腔体结构一侧设有内壁，且内壁贯穿设有腔口；腔门结构活动连接于腔体结构，且腔门结构用于密封腔口，腔门结构朝向内壁的一侧设有内弧面；在腔门结构密封腔...
该专利属于深圳市原速光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市原速光电科技有限公司授权不得商用。

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