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本实用新型属于尾气过滤器技术领域，具体涉及一种用于生长深紫外LED的MOCVD的多级尾气过滤器系统，包括一级颗粒吸附系统、二级颗粒吸附系统和三级颗粒吸附系统，所述一级颗粒吸附系统与二级颗粒吸附系统连接，所述二级颗粒吸附系统与三级颗粒吸附系统...
该专利属于山西中科潞安紫外光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西中科潞安紫外光电科技有限公司授权不得商用。

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