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一种晶圆片挑片装置制造方法及图纸
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文档序号:37892464
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本实用新型涉及晶圆片挑片技术领域,特别涉及一种晶圆片挑片装置,包括承载盒,承载盒内腔的相对两侧壁上对称安装有用以放置卡塞盒的支撑定位组件以及内腔底部安装基座,承载盒的另一相对两侧壁之间连接有连接轴,基座上设有若干个等间距设置的间隔柱,连接轴...
该专利属于福建兆元光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建兆元光电有限公司授权不得商用。
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