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本公开涉及具有倾斜侧边缘部的成角度的光栅耦合器。用于光栅耦合器的结构和制造用于光栅耦合器的结构的方法。该结构包括具有中心部和边缘部的光栅耦合器。中心部和边缘部限定侧壁，并且中心部和边缘部具有第一纵轴，边缘部沿第一纵轴以间隔关系排列。每个边缘...
该专利属于格芯（美国）集成电路科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过格芯（美国）集成电路科技有限公司授权不得商用。

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