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压电层叠体及压电元件制造技术
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文档序号:37889519
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本发明提供一种压电层叠体及压电元件,该压电层叠体在基板上依次具备下部电极层、压电膜,其中,下部电极层中的与压电膜接触的区域由金属层构成,金属层的(111)面相对于基板的表面具有1
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该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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