下载压电层叠体及压电元件的技术资料

文档序号:37889519

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本发明提供一种压电层叠体及压电元件,该压电层叠体在基板上依次具备下部电极层、压电膜,其中,下部电极层中的与压电膜接触的区域由金属层构成,金属层的(111)面相对于基板的表面具有1
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