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本发明公开一种向大气中引出离子束的光束加工装置，其包括：柱部，具有内部空间，在下端形成用于向外部释放生成于内部的离子束的光圈；O型圈，插入于在光圈的周围所形成的凹槽，以防止空气流入；试样台，用于以使离子束照射到试样的方式放置试样；狭缝，形成...
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