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一种双沟槽型MOS场效应晶体管制造技术
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文档序号:37885058
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本实用新型属于半导体技术领域,公开了一种双沟槽型MOS场效应晶体管。上述场效应晶体管包括:依次层叠设置的半导体衬底层、半导体外延层;堆叠于半导体外延层上的阱区;设置于阱区上的掺杂区,掺杂区包括N型重掺杂区和P型重掺杂区;沟槽,包括栅极沟槽和...
该专利属于深圳市至信微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市至信微电子有限公司授权不得商用。
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